振動傳感器廣泛應用于基礎設施健康、交通安全、生物醫學設備、智能電子產品、機械設備振動監測等領域。然而,物聯網與無線傳感器網絡的迅速發展對振動傳感提出了新的挑戰,尤其是在需要大量傳感器部署且缺乏電能供給的場合,以傳統傳感方案難以實現長期有效的感知監測。解決這一問題的有效方案是開發自驅動的振動傳感器。同時,隨著物聯網的發展,機械設備正朝著高度自動化、智能化、高效率的方向發展。例如,無人船可承擔大規模、長期間、低成本的作業任務。但是,機械設備的長時間穩定運行,需要對其運行狀況進行實時監測。一旦運行狀態出現異常,需要立即采取維護措施。傳感器可能經常暴露在高溫、高濕的惡劣環境中,并且需要考慮到在大范圍部署傳感網絡時傳感器的成本與功耗,即使在電力系統發生故障時,傳感器仍需要正常工作。因此,自驅動振動傳感器具有獨特的研究與應用價值。近日,清華大學深圳國際研究生院丁文伯助理教授的智能感知與機器人(Smart Sensing and Robotics, SSR)課題組開發了一種基于摩擦納米發電機(TENG)的高靈敏度自驅動振動傳感器。利用柔性介電薄膜與多孔金屬材料構建摩擦層,有效提升了TENG傳感精度,所制備的TENG傳感器可以檢測到1-2000 Hz頻率的振動,即使在高溫高濕的環境中,TENG傳感器輸出的信號在波形上不失真(幅值改變)。在實驗室條件下將TENG傳感器初步應用于機械齒輪系統的運行狀態檢測,將機器學習與TENG信號識別相結合,達到了高準度識別機械系統運行狀態的目的,檢測結果可實時顯示在遠程監控或者移動設備上。TENG傳感器同時可用于空氣壓縮機、熱風槍、磚瓦空鼓等方面的振動檢測,并通過嵌入式系統將運行狀態在屏幕顯示。該工作為構建TENG自驅動傳感器提供了新思路,在機械故障智能診斷方向具有應用潛力。

圖1. 摩擦納米發電機振動傳感器(VS-TENG)的結構與工作原理

清華大學深圳國際研究生院丁文伯助理教授為論文的通訊作者,王季宇博士為共同通訊作者,清華大學深圳國際研究生院2021級博士研究生趙洪發、2021級碩士研究生艾子豪、2020級碩士研究生舒明瑞為論文的共同第一作者。論文作者還包括清華大學深圳國際研究生院樓子瑞博士、2021級博士研究生蘇杰華、科研助理陸誠越、2020級碩士研究生金雨超、2019級博士研究生王子涵、新加坡國立大學吳昌盛助理教授,以及深圳國際研究生院曹譯丹助理教授和徐曉敏副教授。該項目得到了國家自然科學基金、深圳國際研究生院科研啟動基金和交叉學科基金、廣東省基礎與應用基礎研究基金、深圳市穩定支持項目、清華國強研究院等項目的資助。
論文鏈接:https://doi.org/10.1002/aenm.202201132
參考資料:https://www.tsinghua.edu.cn/info/1175/98872.htm