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光刻膠 光刻膠

光刻膠

CAS號 38891-59-7
規格 100ml/瓶
純度 請聯系客服
貨號 SU-8 2005-100
貨期 ---
品牌 中芯啟恒
庫存 100瓶
注意：請務必與賣家聯系核實單價庫存，以確保您的資金安全及交易順利。
參考價： ￥1.00 元/瓶
貨號 品牌 純度 規格 參考價 貨期
SU-8 2005-100 中芯啟恒 請聯系客服 100ml/瓶 ￥1.00元/瓶 ---

產品詳情

詳細信息(中文)：
簡介：

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠是負性光刻膠，采用環戊酮溶劑配制而成，在厚度膠膜涂布工藝中，圖案化的結構有較好的穩定性和高分辨率，其膜厚范圍比任何其他市售光刻膠更廣泛，單次旋涂工藝膠膜厚度可選1-300um范圍，可根據需要進行多次旋涂，從而獲得更厚的膠膜。自2019年推出后，受到了同行業客戶的青睞，在MEMS微加工領域占據越來越多的市場份額。

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠根據粘度不同，劃分為以下型號：


中芯啟恒SU-8 2000系列

單次旋涂膜厚范圍

SU-8 2005

2-8um

SU-8 2015

12-38um

SU-8 2025

20-80um

SU-8 2050

40-170um

SU-8 2075

60-240um

SU-8 2100

100-270um


備注：不同膜厚可通過調節勻膠機轉速獲得，因客戶實驗設備不同，實際參數需進行微調。


中芯啟恒SU-8-2000系列光刻膠使用I線365nm紫外曝光，可選設備Cchip-0019型光刻機，也可使用電子束或X射線輻照。光刻膠中的光引發劑吸收光子發生化學反應，生成一種強酸，作用是在中烘或后烘過程中作為酸催化劑促進交聯反應的發生，只有曝光區域的光刻膠中才有強酸。后烘過程中，曝光區域在強酸的催化作用下，分子發生交聯。 環氧交聯發生在曝光后的烘烤步驟；一般工藝流程為：旋涂、軟烘、曝光、中烘、顯影。后烘或硬烘可以提高圖案的分辨率或消除因應力出現的裂紋，增加圖案與襯底的粘附力。

產品實物圖

產品實物圖

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英文名 Phenol, 4,4'-(1-methylethylidene)bis-, polymer with 2-aminoethanol and 2-(chloromethyl)oxirane
中文名 環氧樹脂
CAS號 38891-59-7 溶解性 ---
分子量 381.90092 熔點 ---
密度 --- 沸點 ---

商家信息

蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司

營業執照已審核 企業已認證

聯系人：張曉飛

號碼一： 180****

號碼二： ****

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  • 公司類型：研發型
  • 成立時間：2014-11-07
  • 所在地區：江蘇省蘇州市
  • 注冊資本：300萬元
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產品：環氧樹脂